量        程

2SCCM-200SLPM（氮氣等效）

量  程  比

50:1，100:1可選

精        度

±1%FS

重  復  性

±0.2%FS

耐        壓

3MPaG

最大工作壓力

0.6MPaG

工作差壓

（2-5000SCCM）   量程： 0.05-0.3MPaD

（＞5-23SLPM）   量程： 0.07-0.3MPaD

（＞23-50SLPM）  量程： 0.14-0.3MPaD

（＞50-200SLPM） 量程： 0.20-0.30MPaD

響應時間

≤1秒

外部泄露率

5×10-12Pa.m3/sec（He）

標準工況（STP）

25℃&1Atm

環境溫度

5 ~ 50℃

過程連接

卡套：1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3mm、6mm、8mm等

VCR（公頭）: 1/8"、1/4"、3/8"、1/2"

 IGS: 1.125"C" 型密封、1.125"W" 型密封

1.5"C" 型密封、 1.5"W" 型密封

接液材質

316L不銹鋼、PTFE、磁體不銹鋼

表面粗糙度

≤5Ra（EP處理，氣路座，接頭，傳感器），可選擇Ra=0.2，0.4，0.6μm

防護等級

IP55

顯        示

標準不帶顯示，可選OLED顯示屏

設備地址

1（默認）-127

指示燈

綠燈和紅燈（供電、通訊、故障狀態指示）

安裝方向

任意方向

重        量

詳見尺寸表

功        耗

3.5-4.5W（和量程有關）

電氣連接

DB9M接頭和RJ-45網口插孔×2

模擬輸入/輸出信號

4-20mA或0-5V

數字輸入/輸出信號

RS-485/Modbus-RTU（默認）或DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet

通信速率

9600bps（默認）、19200、38400bps

2SCCM-10SCCM

117.0×31.8×127.1(mm)

  1/4"VCRM

 約1kg

＞10SCCM-5SLPM

＞5SLPM-50SLPM

＞50SLPM-200SLPM

201.6×38.0×155.7(mm)

1/2"VCRM

約2.3kg

1

系列和類別

300M：300系列熱式氣體質量流量計

300C：300系列熱式氣體質量流量控制器

2

量程

-2C:   2SCCM

-10C:  10SCCM

-50C:  50SCCM

-100C: 100SCCM

-200C: 200SCCM

-500C: 500SCCM

-1L:   1SLPM

-2L:   2SLPM

-5L:   5SLPM

-10L:  10SLPM

-20L:  20SLPM

-50L:  50SLPM

-100L: 100SLPM

-200L: 200SLPM

-X量程: 定制量程（例如30SCCM,選型代碼為X30C；6SLPM,選型代碼為X6L）

3

過程接口

-3MS：3mm卡套接頭

-6MS：6mm卡套接頭

-8MS：8mm卡套接頭

-1IS：1/8"卡套接頭

-4IS：1/4"卡套接頭

-6IS：3/8"卡套接頭

-8IS：1/2"卡套接頭

-1CR: 1/8"VCR接頭

-4CR: 1/4"VCR接頭

-6CR: 3/4"VCR接頭

-8CR: 1/2"VCR接頭

-1.125C: 1.125“C" 型密封

-1.125W: 1.125“W" 型密封

-1.5C:   1.5“C" 型密封

-1.5W:   1.5“W" 型密封

-X:      定制接頭

4

氣體（遵循半導體標準E52-0703）

-001：氦氣

-004：氬氣

-007：氫氣

-008：空氣

-013：氮氣

-015：氧氣

-025：二氧化碳

-028：甲烷

-029：氨氣

注：其他氣體，詳見氣體列表

5

模擬信號

-N：無模擬信號

-A: 4-20mA模擬輸入/輸出信號

-V: 0-5V模擬輸入/輸出信號

6

數字信號

-RS:  RS485數字輸入/輸出信號（默認）

-DNET: DeviceNet通訊

-ECAT：EtherCAT通訊

-EIP:  EtherNet/IP通訊

-PFN:  Profinet通訊

注：RS485數字輸入/輸出信號為默認,選擇其他數字通訊時，模擬信號不可選

7

供電電壓

-P24: 24VDC

-P15: ±15VDC

8

顯示屏

-N：無顯示屏

-D: OLED顯示屏