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您當(dāng)前的位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心200系列熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
量程2SCCM-500SLPM,精度±1%FS,支持氣體切換,性價(jià)比高
Twin-Tiger 200系列橡膠密封氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器主要基于?熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理,流體經(jīng)加熱的毛細(xì)管傳感器通道,帶走熱量,形成上游與下游的溫差(ΔT),該溫差與?氣體質(zhì)量流量成正比?,結(jié)合?閉環(huán)反饋控制?實(shí)現(xiàn)高精度流量調(diào)節(jié),不受溫度、壓力變化影響。?
Twin-Tiger 200系列量程覆蓋范圍2SCCM-500SLPM(氮?dú)獾刃В刂品秶鷱?%滿量程到100%滿量程。支持?jǐn)?shù)字信號(hào)Modbus-RTU(基于RS485)和模擬信號(hào)(4-20mA或0-5V),現(xiàn)場(chǎng)通訊靈活方便。
應(yīng)用及案例
分析儀器
醫(yī)療設(shè)備
真空鍍膜
食品制藥
工業(yè)爐窯
光伏行業(yè)
響應(yīng)時(shí)間≤1秒
控制范圍從1%到100%滿量程
溫度和壓力影響不敏感
表面拋光處理
泄漏率低
壓損小
介 質(zhì) | 潔凈、干燥、無(wú)腐蝕性氣體 | |
量 程 | 2SCCM-500SLPM(氮?dú)獾刃В?/span> | |
量 程 比 | 50:1,100:1可選 | |
精 度 | ±1%FS | |
重 復(fù) 性 | ±0.2%FS | |
耐 壓 | 1.5MPaG | |
最大工作壓力 | 0.45MPaG | |
工作差壓 | (2SCCM-23SLPM) 量程:0.07-0.28MPaD (>23-150SLPM) 量程: 0.14-0.28MPaD (>150-500SLPM)量程: 0.20-0.30MPaD | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤1秒 | |
外部泄露率 | 1×10-9Pa.m3/sec(He) | |
標(biāo)準(zhǔn)工況(STP) | 25℃&1Atm | |
環(huán)境溫度 | 5~45℃ | |
過(guò)程連接 | 卡套:1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3mm、6mm、8mm等 VCR(公頭): 1/8"、1/4"、3/8"、1/2" IGS: 1.125"C" 型密封、1.125"W" 型密封 1.5"C" 型密封、 1.5"W" 型密封 | |
接液材質(zhì) | 316L不銹鋼、Viton氟橡膠、磁體不銹鋼 | |
表面粗糙度 | ≤25Ra | |
防護(hù)等級(jí) | IP55 | |
顯 示 | 標(biāo)準(zhǔn)不帶顯示,可選OLED顯示屏 | |
設(shè)備地址 | 1(默認(rèn))-127 | |
指示燈 | 綠燈和紅燈(供電、通訊、故障狀態(tài)指示) | |
安裝方向 | 任意方向 | |
重 量 | 詳見尺寸表 | |
供電電壓 | 24VDC或±15VDC | |
功 耗 | 3.5-4.5W(和量程有關(guān)) | |
電氣連接 | DB9M接頭和RJ-45網(wǎng)口插孔×2 | |
模擬輸入/輸出信號(hào) | 4-20mA或0-5V | |
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) | RS-485/Modbus-RTU(默認(rèn))或DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet | |
通信速率 | 9600bps(默認(rèn))、19200、38400bps |
供電電壓 | 24VDC或±15VDC | |
功 耗 | 3.5-4.5W(和量程有關(guān)) | |
電氣連接 | DB9M接頭和RJ-45網(wǎng)口插孔×2 | |
模擬輸入/輸出信號(hào) | 4-20mA或0-5V | |
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) | RS-485/Modbus-RTU(默認(rèn))或DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet | |
通信速率 | 9600bps(默認(rèn))、19200、38400bps |



圖示產(chǎn)品量程為0-5SLPM,更多量程尺寸請(qǐng)參見下表:
量程 | 外觀尺寸(長(zhǎng)×寬×高) | 過(guò)程接口 | 重量 |
2SCCM-5SLPM | 124.0×31.8×127.0(mm) |
1/4"卡套 |
約1kg |
>5SLM-50SLM | 124.0×33.0×130.0(mm) | 1/4"卡套 | 約1kg |
>50SLPM-100SLPM | 3/8"卡套 | 約1kg | |
>100SLPM-300SLPM | 181.7×38.0×155.7(mm) | 3/8"卡套 | 約2.3kg |
>300SLPM-500SLPM | 178.0×38.0×157.5(mm) | 1/2"卡套 | 約1.8kg |
注:重量只包含對(duì)應(yīng)卡套接口,其它過(guò)程接口重量請(qǐng)咨詢 | |||
選型示例
選型示例:200C-100L-6MS-008-A-RS-P24-N
含 義 基本型號(hào)-量程-過(guò)程接口-氣體-模擬信號(hào)-數(shù)字信號(hào)-供電電壓-顯示屏
序號(hào) | 字段 | 代碼 | |
1 | 系列和類別 | 200M:200系列熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 200C:200系列熱式氣體質(zhì)量流量控制器 | |
2 | 量程 | -2C: 2SCCM -10C: 10SCCM -50C: 50SCCM -100C: 100SCCM -200C: 200SCCM -500C: 500SCCM -1L: 1SLPM -2L: 2SLPM -5L: 5SLPM -10L: 10SLPM -20L: 20SLPM -50L: 50SLPM -100L: 100SLPM -200L: 200SLPM -500L: 500SLPM -X量程: 定制量程(例如30SCCM,選型代碼為X30C;6SLPM,選型代碼為X6L) | |
3 | 過(guò)程接口 | -3MS:3mm卡套接頭 -6MS:6mm卡套接頭 -8MS:8mm卡套接頭 -1IS:1/8"卡套接頭 -4IS:1/4"卡套接頭 -6IS:3/8"卡套接頭 -8IS:1/2"卡套接頭 -1CR: 1/8"VCR接頭 | -4CR: 1/4"VCR接頭 -6CR: 3/4"VCR接頭 -8CR: 1/2"VCR接頭 -1.125C: 1.125“C" 型密封 -1.125W: 1.125“W" 型密封 -1.5C: 1.5“C" 型密封 -1.5W: 1.5“W" 型密封 -X: 定制接頭 |
4 | 氣體(遵循半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)E52-0703) | -001:氦氣 -004:氬氣 -007:氫氣 -008:空氣 -013:氮?dú)?/span> -015:氧氣 -025:二氧化碳 -028:甲烷 注:其他氣體,詳見氣體列表 | |
5 | 模擬信號(hào) | -N:無(wú)模擬信號(hào) -A: 4-20mA模擬輸入/輸出信號(hào) -V: 0-5V模擬輸入/輸出信號(hào) | |
6 | 數(shù)字信號(hào) | -RS: RS485數(shù)字輸入/輸出信號(hào)(默認(rèn)) -DNET: DeviceNet通訊 -ECAT:EtherCAT通訊 -EIP: EtherNet/IP通訊 -PFN: Profinet通訊 注:RS485數(shù)字輸入/輸出信號(hào)為默認(rèn),選擇其他數(shù)字通訊時(shí),模擬信號(hào)不可選 | |
7 | 供電電壓 | -P24: 24VDC -P15: ±15VDC | |
8 | 顯示屏 | -N:無(wú)顯示屏 -D: OLED顯示屏 | |